Оборудование для производства карбида кремния (SiC) как полупроводникового материала с большим потенциалом в последние годы привлекло большое внимание. По сравнению с традиционными кремниевыми материалами карбид кремния имеет более высокую скорость миграции электронов, теплопроводность и радиационную стойкость, что дает ему значительные преимущества при высоких температурах, большой мощности, высоком напряжении и других областях. Таким образом, оборудование для производства карбида кремния играет важную роль в таких областях, как материаловедение, электронная промышленность и даже автомобили на новых источниках энергии.
В настоящее время процессы производства карбида кремния в основном включают физическое осаждение из паровой фазы (PVD) и химическое осаждение из паровой фазы (CVD). Метод PVD выращивает пленку карбида кремния на подложке посредством процессов испарения и распыления, а метод CVD генерирует карбид кремния на поверхности подложки посредством химических реакций. Хотя эти два метода позволили добиться замечательных результатов на лабораторном этапе, крупномасштабное промышленное производство по-прежнему сталкивается со многими проблемами. Например, метод PVD имеет ограничения по толщине и однородности пленки, тогда как метод CVD склонен к образованию побочных продуктов в процессе производства, что влияет на качество пленки.
Чтобы преодолеть эти проблемы, научно-исследовательская группа нашей страны успешно разработала оборудование для производства карбида кремния с независимыми правами интеллектуальной собственности. В этом оборудовании используется инновационная технология CVD с водородом, которая, вводя водород в процессе выращивания, эффективно снижает образование побочных продуктов и улучшает качество пленки. Кроме того, в оборудовании используются передовые системы контроля температуры и регулирования давления для обеспечения стабильности и повторяемости процесса роста. На этой основе развитие промышленности карбида кремния в моей стране постепенно выходит на передовой международный уровень.
Стоит отметить, что развитие моей страны в области оборудования для производства карбида кремния не было гладким. Еще в 1980-х годах моя страна начала инвестировать в исследования материалов из карбида кремния, но из-за иностранной технологической блокады скорость развития была ограничена. Лишь в последние годы промышленность карбида кремния в моей стране смогла быстро вырасти благодаря поддержке национальной политики и независимых инноваций предприятий. Сегодня наша страна успешно сломала иностранную монополию и осуществила локализацию оборудования для производства карбида кремния, заложив прочную основу для развития карбидокремниевой промышленности нашей страны.
Инновации и разработка оборудования для производства карбида кремния не только обеспечивают мощную поддержку развитию промышленности карбида кремния в моей стране, но и открывают новые возможности для мировой полупроводниковой промышленности. Благодаря широкому применению материалов из карбида кремния в транспортных средствах на новой энергии, силовой электронике, аэрокосмической и других областях перспективы рынка оборудования для производства карбида кремния являются многообещающими. Однако, чтобы выделиться в жесткой международной конкуренции, нашей стране все еще необходимо продолжать усердно работать в следующих аспектах:
- Повысить эффективность производства: за счет технологических инноваций увеличить скорость роста и выпуск пленок карбида кремния, а также снизить производственные затраты.
- Оптимизация качества продукции: дальнейшее улучшение однородности, чистоты, твердости и других показателей производительности пленки для удовлетворения потребностей различных сценариев применения.
- Расширение областей применения: активно разрабатывать новые материалы из карбида кремния и новые технологии для содействия широкому применению карбида кремния в различных областях.
- Развивать таланты: усиливать обучение и внедрение талантов в карбидокремниевую промышленность, чтобы обеспечить непрерывную инновационную мощь для промышленного развития.
Короче говоря, оборудование для производства карбида кремния играет важную роль в развитии полупроводниковой промышленности моей страны. Только постоянно продвигая инновации и прогресс в оборудовании для производства карбида кремния, индустрия карбида кремния в моей стране может стать мировым лидером. С этой целью наша страна должна продолжать увеличивать политическую поддержку промышленности карбида кремния, поощрять предприятия к независимым инновациям, укреплять сотрудничество между промышленностью, университетами и исследованиями, а также развивать профессиональные таланты для достижения дальнейших прорывов в оборудовании для производства карбида кремния и помощи полупроводниковой промышленности моей страны. промышленность достигла более высоких высот.